Forza di microonde
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Fornitura d'energia à microonde
L'alimentazione di commutazione di microonde hè un novu tipu d'alimentazione di microonde basatu nantu à a tecnulugia di inverter d'alta frequenza IGBT. Integra l'alimentazione di l'anodu d'alta tensione, l'alimentazione di filamentu è l'alimentazione di u campu magneticu (eccettu l'alimentazione di microonde 3kW). L'onda magnetron furnisce e cundizioni di travagliu. Stu pruduttu hè adupratu in MPCVD, incisione di plasma à microonde, degumming di plasma à microonde è altri campi.