Alimentazione per sputtering di media frequenza serie MSB
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Alimentazione per sputtering di media frequenza serie MSB
L'alimentazione RF di a serie RHH si basa nantu à una tecnulugia di generazione RF matura per furnisce à i clienti un'alimentazione RF cù una putenza più grande, una precisione più alta è una risposta rapida. Cù a fase chì pò esse impostata, u cuntrollu di l'impulsi, a sintonizazione digitale è altre funzioni. Campi applicabili: industria fotovoltaica, industria di display à pannellu pianu, industria di semiconduttori, industria chimica, laburatoriu, ricerca scientifica, fabricazione, ecc.
Prucessi applicabili: deposizione chimica da vapore rinfurzata da plasma (PECVD), incisione a plasma, pulizia a plasma, fonte di ioni a radiofrequenza, diffusione a plasma, sputtering a polimerizzazione a plasma, sputtering reattivu, ecc.