MSB Series Sputtering Power Supply à Medium Frequency

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Breve descrizzione:

L'alimentazione RF di a serie RHH si basa in a tecnulugia di generazione RF matura per furnisce à i clienti un fornimentu di energia RF cù una putenza più grande, una precisione più alta è una risposta rapida.Cù fasi pò esse stabilitu, pulsi cuntrullabile, sintonizazione digitale è altre funzioni.Campi applicabili: industria fotovoltaica, industria di display flat, industria di semiconductor, industria chimica, laboratoriu, ricerca scientifica, fabricazione, etc.

Processi applicabili: deposizione chimica di vapore di plasma (PECVD), incisione di plasma, pulizia di plasma, fonte di ioni di radiofrequenza, diffusione di plasma, sputtering di polimerizazione di plasma, sputtering reattivu, etc.

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Features

● Mid-brick è stili rack mount

● Aduttà un cuntrollu digitale cumpletu, cù menu di funziunamentu convenientu è riccu

● Sintonizazione di frequenza, funzioni di sincronizzazione di impulsi è impulsi

● Cù funzione di sincronizazione fase CEX

● Funzione di prutezzione perfetta

Detail di u produttu

Input	Tensione di input: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (specificazioni spiciali ponu esse persunalizati)
Input	Frequenza di input: 47 ~ 63 Hz
Output	Frequenza di output: 13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz
	Gamma di sintonizazione: ± 5%
	Potenza di uscita: 1,5 ~ 5 kW
	Gamma di regulazione di a putenza di output: 1 ~ 100%
	Impedenza di output: 50Ω + j0
	Interfaccia di output: tipu N
	Modu di output: cuntinuu, impulsu
	Frequenza di impulsu: 100Hz ~ 100kHz
	Ciclu di travagliu: 5 ~ 95%
Indice di prestazione	Fattore di putenza: 0,98
	Precisione di stabilità di frequenza: ± 0.005%
	Efficienza: 75% (à a pruduzzioni nominali)
	Armonica: ＜-45dBc
	Vagabonda: ＜-50dBc
	Interfaccia di cuntrollu esternu: quantità analogica, cumunicazione è sincronizazione
	Modu di cumunicazione: interfaccia di cumunicazione standard RS485;Optional Ether CAT, Ethernet industriale, etc.
Nota: u pruduttu cuntinueghja à innuvà è u rendiment cuntinueghja à migliurà.Questa descrizzione di u paràmetru hè solu per riferimentu.