Alimentazione di Sputtering à Medium Frequency Serie MSB

Descrizione breve:

A Serie MSB si basa nantu à a so eccellente tecnulugia di modulazione di forma d'onda per emette DC, impulsi DC, onda quadra bidirezionale, onda trapezoidale bidirezionale è altre forme d'onda.U pruduttu hà una forma d'onda di output regulabile, una frequenza di output selezziunata, un ciclu di travagliu regulabile è un cuntrollu precisu di putenza.Cum'è un almacenamentu d'energia bassu è una risposta d'arcu veloce.Fornite un cuntrollu còmode è precisu per u prucessu di revestimentu.I prudutti sò principarmenti usati in vari prucessi di fabricazione di film sottili, industria di cellula solare, è industria di rivestimentu di vacuum;prucessi di applicazione: prucessu di sputtering magnetron, sputtering twin target, è PECVD tubular.

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Features

Installazione di rack
Risposta rapida à l'arcu, tempu di risposta <100ns
Almacenamiento d'energia bassu, <0,5 mJ / KW
A tecnulugia PFC interleaved multifase, u fattore di putenza hè altu cum'è 0,95
Diversi modi di output, modi continui è intermittenti ponu esse selezziunati
U circuitu di l'inverter adopta a tecnulugia di cunversione morbida cumpleta è usa u SiC semiconductor di terza generazione cum'è u dispositivu di putenza, cù una efficienza eccellente.
Rilevazione precisa di l'arcu, diversi metudi di monitoraghju dispunibili