Alimentazione RF
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Alimentazione RF Serie RLS
L'alimentazione RF di a serie RLS adopta l'amplificatore di putenza stabile è affidabile attuale è u sistema di cuntrollu DC core di a cumpagnia, in modu chì u pruduttu hà un rendimentu assai stabile è una alta affidabilità di u produttu.Adoptate l'interfaccia di visualizazione cinese è inglese, faciule d'operare.Adupratu principalmente in l'industria fotovoltaica, l'industria di display flat, l'industria di i semiconduttori, l'industria chimica, u laboratoriu, a ricerca scientifica, a fabricazione, etc.
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Serie RMA Matchers
Pò esse adattatu à l'alimentazione di a serie RLS RF, è hè largamente utilizatu in incisione di plasma, rivestimentu, pulizia di plasma, degumming di plasma è altri prucessi.Quandu s'utilice solu, pò esse usatu inseme cù l'alimentazione RF di altri fabricatori.
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Alimentazione RF di a serie RHH
L'alimentazione RF di a serie RHH si basa in a tecnulugia di generazione RF matura per furnisce à i clienti un fornimentu di energia RF cù una putenza più grande, una precisione più alta è una risposta rapida.Cù fasi pò esse stabilitu, pulsi cuntrullabile, sintonizazione digitale è altre funzioni.Campi applicabili: industria fotovoltaica, industria di display flat, industria di semiconductor, industria chimica, laboratoriu, ricerca scientifica, fabricazione, etc.
Processi applicabili: deposizione chimica di vapore di plasma (PECVD), incisione di plasma, pulizia di plasma, fonte di ioni di radiofrequenza, diffusione di plasma, sputtering di polimerizazione di plasma, sputtering reattivu, etc.