L'alimentazione RF di a serie RHH si basa in a tecnulugia di generazione RF matura per furnisce à i clienti un fornimentu di energia RF cù una putenza più grande, una precisione più alta è una risposta rapida.Cù fasi pò esse stabilitu, pulsi cuntrullabile, sintonizazione digitale è altre funzioni.Campi applicabili: industria fotovoltaica, industria di display flat, industria di semiconductor, industria chimica, laboratoriu, ricerca scientifica, fabricazione, etc.
Processi applicabili: deposizione chimica di vapore di plasma (PECVD), incisione di plasma, pulizia di plasma, fonte di ioni di radiofrequenza, diffusione di plasma, sputtering di polimerizazione di plasma, sputtering reattivu, etc.