Alimentazione per sputtering serie MSD
Funziunalità
● Installazione di rack
● Risposta rapida di l'arcu, tempu di risposta <100ns
● Accumulazione d'energia in fondu, <1mJ/kW
● Struttura d'installazione compatta, chassis standard 3U
● Interfaccia di visualizazione cinese/inglese, faciule da aduprà
● Cuntrollu precisu
● Vasta gamma di pruduzzione
● Funzione di prutezzione perfetta
Dettagli di u produttu
Input | Tensione d'entrata: 3AC380V±10% |
Putenza: 20 kW, 30 kW Frequenza di putenza d'entrata: 50Hz/60Hz | |
Surtita | Tensione di uscita massima: 800V |
Corrente di uscita massima: 50A, 75A | |
Ondulazione di corrente di uscita: ≤3% rms | |
Ondulazione di tensione di uscita: ≤2% rms | |
Indice tecnicu | Tensione d'accensione: 1000V / 1200V opzionale |
Efficienza di cunversione: 95% | |
Tempu di spegnimentu di l'arcu: <100ns | |
Interfaccia di cumunicazione: Standard RS485 / RS232 (PROFIBUS, PROFINET, DeviceNet è EtherCAT sò opzionali) | |
Dimensioni (A*L*P) mm: 132*482*560: 176*482*700 | |
Modu di raffreddamentu: raffreddamentu à aria | |
Nota: u pruduttu cuntinueghja à innovà è e prestazioni cuntinueghjanu à migliurà. Sta descrizzione di i parametri hè solu per riferimentu. |
Scrivite u vostru missaghju quì è mandateci lu