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Alimentazione per sputtering serie MSD

Descrizzione corta:

L'alimentatore di sputtering DC di a serie MSD adotta u sistema di cuntrollu DC principale di a cumpagnia cumminatu cù un eccellente schema di trasfurmazione di l'arcu, in modu chì u pruduttu abbia prestazioni assai stabili, alta affidabilità di u produttu, picculi danni à l'arcu è bona ripetibilità di u prucessu. Adotta l'interfaccia di visualizazione cinese è inglese, faciule da aduprà.


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Funziunalità

● Installazione di rack

● Risposta rapida di l'arcu, tempu di risposta <100ns

● Accumulazione d'energia in fondu, <1mJ/kW

● Struttura d'installazione compatta, chassis standard 3U

● Interfaccia di visualizazione cinese/inglese, faciule da aduprà

● Cuntrollu precisu

● Vasta gamma di pruduzzione

● Funzione di prutezzione perfetta

Dettagli di u produttu

Input Tensione d'entrata: 3AC380V±10%
Putenza: 20 kW, 30 kW

Frequenza di putenza d'entrata: 50Hz/60Hz

Surtita Tensione di uscita massima: 800V
Corrente di uscita massima: 50A, 75A
Ondulazione di corrente di uscita: ≤3% rms
Ondulazione di tensione di uscita: ≤2% rms
Indice tecnicu Tensione d'accensione: 1000V / 1200V opzionale
Efficienza di cunversione: 95%
Tempu di spegnimentu di l'arcu: <100ns
Interfaccia di cumunicazione: Standard RS485 / RS232 (PROFIBUS, PROFINET, DeviceNet è EtherCAT sò opzionali)
Dimensioni (A*L*P) mm: 132*482*560: 176*482*700
Modu di raffreddamentu: raffreddamentu à aria
Nota: u pruduttu cuntinueghja à innovà è e prestazioni cuntinueghjanu à migliurà. Sta descrizzione di i parametri hè solu per riferimentu.


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